Nhật Bản, Nissan Tanaka
Thiết Bị Tạo Chân Không Dùng Cho Công Nghiệp Bán Dẫn NISSAN TANAKA
Xuất xứ: Nhật Bản
Nhà sản xuất: Nissan Tanaka
Loại sản phẩm: thiết bị tạo chân không
Tính năng
- Thiết bị dùng để tạo môi trường chân không nhờ cung cấp liên tục khí Nitrogen hoặc không khí
- Tạo môi trường chân không bằng cách xả hết khí còn lại bên trong đường ống
Cấu tạo
- Thân chính tích hợp chức năng tạo môi trường chân không
- Đầu nối cấp khí làm việc cho hệ thống
- Việc xả khí do đầu nối xả khí
- Tạo chân không bằng đầu nối tạo chân không
Thông số kỹ thuật
| Supplying pressure of working gases | 0.5MPa | ||||
| Flowrate | around 30L/min(nor) | ||||
| Achieved vacuum | Less －76KPa(18cmHg) | ||||
| Model | TE-140 series | TE-140A | |||
| Connection | In | 1/4”VCR or UJR | 1/4”VCR | ||
| Blow | 3/8”VCR or UJR | 3/8”VCR | |||
| Vacuum | 1/4”VCR or UJR | 1/4”VCR | |||
| Material | SUS316 | ||||
| Leakage (He leak) | Less 1.3×10－10Pa・m3/sec |
||||
Cách sử dụng
- Kết nối các đầu, trong trường hợp khí gas cần lấy ra có thể gây nguy hiểm, cần phải sử dụng thiết bị an toàn cần thiết
- Cung cấp khí làm việc tới đầu cấp
- Kết nối với đầu tạo chân không với thiết bị hoặc ống hút chân không
Related Products
-
Kitz 150UMA/150UMAM Van Cổng Class 150 – Class 150 Gate Valve
-
TERAOKA SEISAKUSHO 646S #25 Băng Dính Màng Polyester – TERAOKA 646S #25 Polyester Film Adhesive Tape
-
Vessel NO.220F Tô Vít Tay Cầm Tròn Xoay Tự Do – Vessel NO.220F Free-Turning Ball Grip Screwdriver (Screwdriver only)
-
WINOA IKK HPG Đá Mài Hiệu Suất Cao – WINOA IKK HPG High Performance Grit
-
Chiyoda Tsusho Bộ Điều Khiển Tốc Độ FUJI β (SPEED CONTROLLER β)
-
Chiyoda Tsusho MFXP Series Khớp Nối Mega Flow X Cho Loại Thanh Lọc Ống Mega (Đồng Thau) – Mega Flow X Coupling for Mega Hose (Brass) Purge Type
