Xuất xứ: Nhật Bản
Nhà sản xuất: Chiyoda Seiki
Model: EX-M-20

Áp suất sơ cấp: 20,0 MPa trở xuống/áp suất điều chỉnh 0,1 đến 1,0 MPa, tốc độ dòng chảy tối đa: 50 ℓ, 150 ℓ/phút・Không khí)
Giá trị rò rỉ: 5X10 -11 Pa・m3/giây.

Tính năng

• Kết cấu siêu kín với độ rò rỉ ra bên ngoài 5×10－11Pa・m3/giây.
• Hoàn thiện siêu sạch với các hạt nhỏ nhất.
• Sử dụng đồng hồ đo áp suất siêu sạch (Clean M). (Tất cả các bộ phận tiếp xúc với khí đều được xử lý bằng EP (đánh bóng bằng điện, bao gồm cả phụ kiện VCR).)

Thông số kỹ thuật

Lưu đồ