Xuất xứ: Nhật Bản
Nhà sản xuất: Chiyoda Seiki
Model: EX-M-1000-H

Áp suất sơ cấp: 20,0 MPa trở xuống/áp suất điều chỉnh 0,1 đến 1,0 MPa, tốc độ dòng chảy tối đa: 450 ℓ, 2000 ℓ/phút・Không khí
Giá trị rò rỉ: 5X10 -11Pa・m3/giây.

Tính năng

• Kết cấu siêu kín với rò rỉ bên ngoài 5 x 10-11 Pa-m3/giây. hoặc ít hơn.
• Kết thúc siêu sạch để giảm thiểu các hạt.
• Đồng hồ đo áp suất (Clean M) đã qua xử lý siêu sạch được sử dụng. (Tất cả các bộ phận tiếp xúc với khí đều được xử lý EP (được đánh bóng bằng điện và bao gồm các khớp nối VCR).)
• Cho phép cung cấp ổn định tốc độ dòng chảy lớn và hỗn hợp khí.

Công dụng

• Hệ thống cung cấp khí có độ tinh khiết cao để sản xuất siêu LSI.
• Hệ thống cung cấp khí siêu tinh khiết và khí hỗn hợp.
• Các hệ thống khí khác nhau đòi hỏi độ sạch cực cao và độ tinh khiết cực cao.

Thông số kỹ thuật

Lưu đồ

Vui lòng chỉ định các mục sau khi đặt hàng

• Mô hình/tên chất lỏng
• Cao áp phải/Cao áp trái
• Áp suất thiết kế sơ cấp/thứ cấp
• Đồng hồ đo áp suất sơ cấp / thứ cấp
• Hình dạng khớp nối đầu vào/đầu ra