Xuất xứ: Nhật Bản
Nhà sản xuất: Chiyoda Seiki
Model: EX-20-PM

Áp suất sơ cấp: 20,0 MPa trở xuống/áp suất điều chỉnh 0,1 đến 1,0 MPa, tốc độ dòng chảy tối đa: 50 ℓ, 150 ℓ/phút・Không khí)
Giá trị rò rỉ: 1X10 -9 Pa・m3/giây trở xuống

Tính năng

• Có thể được tích hợp vào một loạt các thiết bị kiểm soát khí.
• Đường ống dễ dàng bên trong hộp.
• Các thành phần chính được làm bằng SUS316.
• Toàn bộ quy trình từ vệ sinh đến lắp ráp và kiểm tra đều được thực hiện trong phòng sạch CL1000.
• Xử lý dầu và nước bị cấm.

Thông số kỹ thuật

Lưu đồ