Xuất xứ: Nhật Bản
Nhà sản xuất: Chiyoda Seiki
Model: EX-M-700

Áp suất sơ cấp: 3,0 MPa trở xuống/áp suất điều chỉnh 0,1 đến 1,0 MPa, tốc độ dòng chảy tối đa: 450 ℓ, 2000 ℓ, 5000 ℓ/phút・Không khí
Giá trị rò rỉ: 5X10 -11Pa・m3/giây.

Tính năng

• Kết cấu siêu kín với độ rò rỉ ra bên ngoài 5×10－11Pa・m3/giây.
• Hoàn thiện siêu sạch với các hạt nhỏ nhất.
• Sử dụng đồng hồ đo áp suất siêu sạch (Clean M). (Tất cả các bộ phận tiếp xúc với khí đều được xử lý bằng EP (đánh bóng bằng điện, bao gồm cả phụ kiện VCR).)
• Có thể sử dụng cho các đường ống chính áp suất thấp.
• Cung cấp ổn định khí lưu lượng lớn và khí hỗn hợp.

Sử dụng

• Hệ thống cung cấp khí tinh khiết cao cho sản xuất VLSI.
• Hệ thống cung cấp khí hỗn hợp và khí có độ tinh khiết cực cao.
• Các hệ thống khí đòi hỏi độ sạch và độ tinh khiết cực cao.

Thông số kỹ thuật

Lưu đồ

Vui lòng chỉ định các mục sau khi đặt hàng

• Mô hình/tên chất lỏng
• Cao áp phải/Cao áp trái
• Áp suất thiết kế sơ cấp/thứ cấp
• Đồng hồ đo áp suất sơ cấp / thứ cấp
• Hình dạng khớp nối đầu vào/đầu ra