Xuất xứ: Nhật Bản
Nhà sản xuất: Chiyoda Seiki
Model: EX-M-600

Áp suất sơ cấp: 3,0 MPa trở xuống/áp suất điều chỉnh 0,1 đến 1,0 MPa, tốc độ dòng chảy tối đa: 50 ℓ, 150 ℓ/phút・Không khí)
Giá trị rò rỉ: 5X10 -11 Pa・m3/giây.

Tính năng

• Rò rỉ bên ngoài　5×10－11Pa・m3/giây.
• Hoàn thiện siêu sạch với các hạt nhỏ nhất.
• Sử dụng đồng hồ đo áp suất siêu sạch (Clean M). (Tất cả các bộ phận tiếp xúc với khí đều được xử lý bằng EP (đánh bóng điện và bao gồm các phụ kiện VCR).)

Các ứng dụng

• Hệ thống cung cấp khí có độ tinh khiết cao để sản xuất siêu LSI.
• Hệ thống cung cấp khí siêu tinh khiết và khí hỗn hợp.
• Các hệ thống khí khác nhau đòi hỏi độ sạch cực cao và độ tinh khiết cực cao.

Gắn bảng điều khiển

• Lỗ bảng điều khiển: đường kính 36,5 mm.
• Độ dày tấm: 4,5 mm trở xuống.
• Đai ốc lắp cạnh nhau: 41 mm.

Thông số kỹ thuật

Lưu đồ

Vui lòng chỉ định các mục sau khi đặt hàng

• Mô hình/tên chất lỏng
• Cao áp phải/Cao áp trái
• Áp suất thiết kế sơ cấp/thứ cấp
• Đồng hồ đo áp suất sơ cấp / thứ cấp
• Hình dạng khớp nối đầu vào/đầu ra