Xuất xứ: Nhật Bản
Nhà sản xuất: Chiyoda Seiki

Được lắp đặt trong phòng sạch, các bộ phận rơle này phân nhánh và cung cấp các loại khí đặc biệt cho chất bán dẫn và khí siêu tinh khiết như nitơ để làm sạch từ tủ xi lanh đến nhiều thiết bị sản xuất chất bán dẫn, thiết bị khử, các hộp van khác, v.v.