Nhật Bản, Nissan Tanaka
Thiết Bị Tạo Chân Không Dùng Cho Công Nghiệp Bán Dẫn NISSAN TANAKA
Xuất xứ: Nhật Bản
Nhà sản xuất: Nissan Tanaka
Loại sản phẩm: thiết bị tạo chân không
Tính năng
- Thiết bị dùng để tạo môi trường chân không nhờ cung cấp liên tục khí Nitrogen hoặc không khí
- Tạo môi trường chân không bằng cách xả hết khí còn lại bên trong đường ống
Cấu tạo
- Thân chính tích hợp chức năng tạo môi trường chân không
- Đầu nối cấp khí làm việc cho hệ thống
- Việc xả khí do đầu nối xả khí
- Tạo chân không bằng đầu nối tạo chân không
Thông số kỹ thuật
| Supplying pressure of working gases | 0.5MPa | ||||
| Flowrate | around 30L/min(nor) | ||||
| Achieved vacuum | Less －76KPa(18cmHg) | ||||
| Model | TE-140 series | TE-140A | |||
| Connection | In | 1/4”VCR or UJR | 1/4”VCR | ||
| Blow | 3/8”VCR or UJR | 3/8”VCR | |||
| Vacuum | 1/4”VCR or UJR | 1/4”VCR | |||
| Material | SUS316 | ||||
| Leakage (He leak) | Less 1.3×10－10Pa・m3/sec |
||||
Cách sử dụng
- Kết nối các đầu, trong trường hợp khí gas cần lấy ra có thể gây nguy hiểm, cần phải sử dụng thiết bị an toàn cần thiết
- Cung cấp khí làm việc tới đầu cấp
- Kết nối với đầu tạo chân không với thiết bị hoặc ống hút chân không
Related Products
-
NDV E300N-T3/L3 Van Bi Cầu 3 Chiều Loại E300 Vận Hành Bằng Tay – Manual Valve 3-Way Ball Valves (E300 Type)
-
H.H.H Dây Đai Treo (Round Sling)
-
Atsuchi Iron Works Vòi Gốm CM (Bằng Gốm) Loại Nhỏ – Small Ceramic CM (Ceramic) Nozzles
-
Atom Kousan AS-Series Petalor Loại Dẫn Điện – Petalor Conductive Type
-
Watanabe WMB-MAI6 Mô-đun Đầu Vào/Đầu Ra Kỹ Thuật Số (8 điểm) – Analog/Temperature Resistance Input Module (3 channels each)
-
Sawada PVS Van Đo Mức Dạng Ống (Nhựa) – Tubular Level Gauge Valve (Resin)
