Xuất xứ: Nhật Bản
Nhà sản xuất: Chiyoda Seiki
Model: EX-20-TD

Áp suất sơ cấp: 20,0 MPa trở xuống/áp suất điều chỉnh 0,1 đến 1,0 MPa, tốc độ dòng chảy tối đa: 50 ℓ, 150 ℓ/phút・Không khí)
Giá trị rò rỉ: 1X10 -9 Pa・m3/giây trở xuống

Tính năng

• Tích hợp van và màng ngăn (tie diaphragm).
• Các bộ phận tiếp xúc với khí được làm bằng SUS316 với xử lý bề mặt chống ăn mòn đặc biệt.
• Cấu trúc siêu bí mật với độ rò rỉ He (rò rỉ bên ngoài) 1×10-9 Pa-m3/giây. hoặc ít hơn.
• Ngăn ngừa rò rỉ khí ra bên ngoài trong trường hợp vỡ màng ngăn.

Thông số kỹ thuật

Lưu đồ